日前，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項的“IC設備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺”研發(fā)任務圓滿完成并投入使用，標志著我國IC裝備零部件在國產(chǎn)化進程中又邁出了重要的一步，不僅打破了該領(lǐng)域核心零部件長期依賴國外進口的被動局面，大幅度提升了我國IC裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈的整體競爭力。
　　隨著我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，產(chǎn)業(yè)需求已占到全球一半以上，但我國集成電路產(chǎn)業(yè)的供給能力只能滿足國內(nèi)市場需求的1/10，單元部件和零件國際采購受到嚴重制約，而國內(nèi)供應商配套能力嚴重缺失，導致我國IC設備生產(chǎn)企業(yè)在零部件采購和備件采購過程中普遍面臨采購成本、采購周期無法滿足需求，迫切需要解決零部件和集成制造本土化。
　　平臺圍繞IC裝備金屬類零部件高效精密加工、表面處理、真空電子束焊等8個方面展開技術(shù)攻關(guān)與建設，突破了精密切削加工、特種表面處理和精密焊接等一系列關(guān)鍵技術(shù)。該平臺已建設成集精密機械加工、特種表面處理、精密焊接于一體的IC設備精密零部件綜合服務平臺，建成國際水準的金屬零部件表面處理及清洗試驗線，通過多項國際先進的表面處理制程認證以及世界IC設備整機龍頭美國應用材料公司和東京電子公司的整體考核，并成為其戰(zhàn)略供應商，也是其在亞洲唯一硬質(zhì)陽極及刷鍍鎳的供應伙伴。
　　同時，平臺以共享、開放的方式為國內(nèi)北方微電子、上海微電子、沈陽拓荊科技、沈陽芯源、沈陽新松等10余家IC裝備企業(yè)提供產(chǎn)品研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新、精密機械零部件的加工制造及特殊表面處理服務，提供千余款零部件，在保證整機零部件工藝質(zhì)量的同時，替代進口，降低采購成本，支撐產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展，截止去年12月，完成相關(guān)銷售額5727.22萬元，具備黑色金屬零部件清洗6萬件的生產(chǎn)能力。